電容電壓（C-V）性測(cè)試儀是測(cè)試頻率為1MHz的數(shù)字式電容測(cè)試儀器。用于測(cè)量半導(dǎo)體器件PN結(jié)勢(shì)壘在不同偏壓下的電容量，也可測(cè)試其它電容。
儀器有較的分辨率，電容量是四位讀數(shù)，可分辨到0.001pF，偏置電壓分辨率為0.01V，漏電小分辨率為0.01μA或0.1μA（可選）。
該測(cè)試儀器性能穩(wěn)定可靠，能齊，度，操作簡單，適用于元件廠家，科研，等院校等單位。
2. 原理
CV法利用PN結(jié)或肖基勢(shì)壘在反向偏壓時(shí)的電容性，可以獲得材料中雜質(zhì)濃度及其分布的信息，這類測(cè)量成為C-V測(cè)量。這種測(cè)量可以提供材料橫截面均勻性及縱向雜質(zhì)濃度的分布信息。
組成半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)的PN結(jié)具有電容效應(yīng)（勢(shì)壘電容），加正向偏壓時(shí)，PN結(jié)勢(shì)壘區(qū)變窄，勢(shì)壘電容變大；加反向偏壓時(shí)，PN結(jié)勢(shì)壘區(qū)變寬，勢(shì)壘電容變小。
該儀器采用電電壓測(cè)量方法，它用微處理器通過8 次電壓測(cè)量來計(jì)算每次測(cè)量后要求的參數(shù)值。用個(gè)相敏檢波器和模數(shù)轉(zhuǎn)換器順序快速成電壓測(cè)量。正交測(cè)量通過交換測(cè)量信號(hào)的相位來行，而不是參考相位檢測(cè)。因而不需要的模擬相位轉(zhuǎn)換成電壓矩形波電路。通過從同個(gè)頻信號(hào)源形成測(cè)試信號(hào)和參考信號(hào)，來保證正確的相位關(guān)系。由微處理器根據(jù)已知的頻率和測(cè)試信號(hào)相位，用ROM 存儲(chǔ)器內(nèi)的程序和所存儲(chǔ)的按鍵選擇來控制測(cè)量順序，以及存儲(chǔ)在RAM 中的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)來計(jì)算被測(cè)元件數(shù)值。